Подробное описание документа
Харченко В. В.
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем : монография / Харченко В. В. ; Академия наук Узбекской ССР, Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. - Ташкент : Изд-во "Фан" Академии наук Узбекской ССР, 1989. - 167 с. : граф. - Библиогр.:
В монографии рассмотрена проблема получения эпитаксиальных структур кремния с заданным распределением примеси. Предложена модель для количественных расчётов и описан ряд технологических принципов управления примесным профилем, приведены данные по кинетике и структурным свойствам эпитаксиальных слоев в условиях варьирования основных параметров процесса при формировании заданного примесного профиля, а также результаты исследования процесса автолегирования.
Для специалистов по технологии получения эпитаксиальных структур и полупроводниковых приборов на их основе, аспирантов и студентов.
1 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
