1 запись
Харченко В. В.
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем : монография / Харченко В. В. ; Академия наук Узбекской ССР, Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. - Ташкент : Изд-во "Фан" Академии наук Узбекской ССР, 1989. - 167 с. : граф. - Библиогр.:с. 157-166 . - ISBN 5-648-00390-0 .
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем : монография / Харченко В. В. ; Академия наук Узбекской ССР, Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. - Ташкент : Изд-во "Фан" Академии наук Узбекской ССР, 1989. - 167 с. : граф. - Библиогр.:
1 экз.
