Расширенный поиск

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - 413 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - Посвящается 75-летию специальности "Электронное машиностроение". - ISBN 5-902740-04-05.

Ибрагимов А. Р.
   Физико-технологические основы управляемого формирования фотонно-кристаллических отражающих слоёв фотонно-плазмонных систем : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Ибрагимов А. Р. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 166 л. : ил. - Библиогр.: л. 147-166.

Ибрагимов А. Р.
   Физико-технологические основы управляемого формирования фотонно-кристаллических отражающих слоёв фотонно-плазмонных систем : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Ибрагимов А. Р. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16.

   Моделирование роста и легирования полупроводниковых плёнок методом Монте-Карло : монография / Александров Л. Н., Бочкова Р. В., Коган А. Н., Тихонова Н. П. ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. Стенин С. И. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1991. - 165 с. : ил. - Библиогр.: с. 150-162. - ISBN 5-02-029696-1.

Жигалина О. М.
   Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.: с. 104-108. - ISBN 978-5-7038-4743-5.

Липатов Г. И.
   Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г. И. - Ай Пи Ар Медиа, 2021. - ISBN 978-5-4497-1207-3.

Дюбанов В. А.
   Физико-химические основы процесса электрофоретического осаждения фотонно-кристаллических сверхрешёток для изделий оптоэлектроники : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Дюбанов В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 17.

Дюбанов В. А.
   Физико-химические основы процесса электрофоретического осаждения фотонно-кристаллических сверхрешёток для изделий оптоэлектроники : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Дюбанов В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 194 л. : ил. - Библиогр.: л. 178-194.

   Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. - 1989. - 326 с.

Физические методы нанесения нанопокрытий : учебник для вузов / под редакцией В. С. Мухина, С. Р. Шехтмана. — 3-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 333 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-13807-8.