Подробное описание документа
Д. Е. Шашин
Формирование металлических и полупроводниковых пленок магнетронным распылением / Д. Е. Шашин ; Поволжский государственный технологический университет. - Йошкар-Ола : Поволжский государственный технологический университет, 2024. -
Монография посвящена изучению процессов создания металлических и полупроводниковых тонких пленок с использованием метода магнетронного распыления. Рассмотрено оборудование для осуществления и повышения эффективности данного метода, а также проведен анализ зависимости эксплуатационных характеристик пленок и покрытий от заданных технологических условий магнетронного распыления.Для исследователей и специалистов в области формирования пленок вакуумными методами.
