Подробное описание документа
В. И. Смирнов
Физические основы нанотехнологий и наноматериалы : учебное пособие / В. И. Смирнов. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. -
Изложены физические основы нанотехнологий, а также свойства наноматериалов, используемых в электронной промышленности и энергетике. Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов, их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники.Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
