Подробное описание документа
В. Д. Казаков
Нанотехнологии и наноматериалы в радиоэлектронике : учебное пособие / В. Д. Казаков. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. -
Рассматривается основное направление развития нанотехнологии в электронике. Сделан подробный обзор технологий получения наноматериалов: нанопорошков, углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов. Изложены основные свойства применяемых в наноэлектронике материалов; описаны методы применения их в полупроводниковых приборах и системах.Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, разрабатывающих наноустройства.
