Подробное описание документа
В. Е. Замошец
Активированное плазмой атомно-слоевое осаждение триоксида вольфрама: выпускная квалификационная работа : студенческая научная работа / В. Е. Замошец ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. - Санкт-Петербург : б. и., 2025. -
