Подробное описание документа
В. Е. Филимонов, А. В. Мороз
Рентгенофлуоресцентный анализ : учебное пособие / В. Е. Филимонов, А. В. Мороз ; Поволжский государственный технологический университет. - Йошкар-Ола : Поволжский государственный технологический университет, 2023. -
Изложены теоретические сведения, касающиеся основ теории рентгенофлуоресцентного анализа. Систематизирована информация о прикладном проведении исследований в области рентгенофлуоресцентного анализа мишеней магнетронов, предназначенных для получения тонкопленочных покрытий. Отражены особенности работы рентгенофлуоресцентного спектрометра X-MET 5100. Даны рекомендации по практическому исследованию элементного состава мишеней магнетронов методом рентгенофлуоресцентного анализа.Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Может быть также полезно студентам других направлений подготовки, связанных с использованием рентгенофлуоресцентной спектроскопии.
