Подробное описание документа
Г. А. Вершинин
Физика взаимодействия лазерного излучения и заряженных частиц с поверхностью твердых тел : практикум / Г. А. Вершинин. - Омск : Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского (ОмГУ), 2019. -
Представлено описание и методика проведения пяти лабораторных работ, предназначенных для моделирования на ЭВМ некоторых процессов, сопровождающих ионную имплантацию в различные мишени. Каждая работа содержит краткое теоретическое введение к проблеме, описание блоков программы и инструкцию по подготовке исходных данных и проведению модельного эксперимента; контрольные вопросы и список литературы. Целью практикума является углубление знаний по лекционному материалу и освоение студентами методов математического моделирования с использованием современных персональных компьютеров некоторых процессов, сопровождающих прохождение ускоренных частиц в веществе при ионной имплантации.Для магистрантов, обучающихся по направлению «Физика», профиль подготовки: «Физика полупроводниковых наноструктур, микро- и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов физических и материаловедческих специализаций высших учебных заведений при выполнении выпускных квалификационных работ или проведении НИР.