Подробное описание документа
Г. Д. Кузнецов
Технология материалов электронной техники: атомно-молекулярные процессы кристаллизации : учебно-методическое пособие / Г. Д. Кузнецов ; Федеральное агентство по образованию, Московский институт стали и сплавов (МИСиС), Кафедра технологии материалов электроники. - Москва : Учеба, 2006. -
Рассматриваются теоретические вопросы процессов роста объемных монокристаллов и пленок на атомно-молекулярном уровне. Анализируются существующие представления о механизме формирования кристалла с учетом начальных стадий его зарождения. Обсуждаются и анализируются особенности кристаллизации при различной движущей силе процесса.Описаны особенности молекулярно-лучевой эпитаксии. По большинству рассматриваемых разделов приводятся примеры расчетов параметров процесса кристаллизации.Для студентов обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 658300 «Нанотехнология», 150702 «Физика металлов» и специальностям 210104 «Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника» и 202100 «Нанотехнология в электронике».