Подробное описание документа
Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом: ускоренные электроны : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов. - Москва : МИСиС, 2012. -
Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела.В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий.Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН.Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом».Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника».