Подробное описание документа
В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой
Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике: методические указания по выполнению лабораторных работ для магистров, с направлением подготовки по специальности 11. 04. 04 и аспирантов с направлением подготовки по специальностям 05. 27. 01 и 05. 27. 06 : учебное пособие / В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой. - Москва : Техносфера, 2017. -
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
