Подробное описание документа
В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2014. -
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.