Подробное описание документа
А. П. Королев, С. Н. Баршутин
Автоматизация технологического проектирования РЭС : учебное пособие / А. П. Королев, С. Н. Баршутин ; Тамбовский государственный технический университет. - Тамбов : Тамбовский государственный технический университет (ТГТУ), 2012. -
Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС.Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств», магистрантов направления 150100 «Материаловедение и технологии материалов» при изучении курсов «Основы технологии покрытий» и «Электровакуумные технологии получения пленок и многослойных покрытий» и бакалавров направления 150100 при изучении курсов «Математическое моделирование процессов твердофазных технологий», «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» и «Теория геретоструктур» всех форм обучения.
