Подробное описание документа
Григорьев, Л. В. Кремниевая фотоника : учебно-методическое пособие / Л. В. Григорьев. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2016. — 93 с.
Изложены основы технологии создания интегрально-оптических структур по планарной кремниевой технологии, приведены методы исследования физических свойств интегрально оптических элементов кремниевой фотоники и микрофотоэлекроники. Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия для магистров высших учебных заверений, обучающихся по направлению подготовки 12.04.03 «Фотоника и оптоинформатика».
