Подробное описание документа
Ворзобова, Н. Д. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем : учебное пособие / Н. Д. Ворзобова, И. Ю. Денисюк. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2008. — 82 с.
В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получе
