Подробное описание документа
Боброва, Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : учебное пособие / Ю. С. Боброва, Ю. Б. Цветков. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. — 44 с. — ISBN 978-5-7038-5369-6.
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Похожие издания
Контактная фотолитография и травление тонкоплёночных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. : рис., табл. - Библиогр.:
Читать онлайн