Подробное описание документа
Ворзобова, Н. Д. Основы оптических 3d технологий формирования микро- и наноразмерных элементов фотоники и информационных систем : учебное пособие / Н. Д. Ворзобова. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2020. — 65 с.
В пособии приведены основы оптических 3D технологий получения микро и наноразмерных элементов фотоники и информационных систем - технологий голографии, литографии и 3D печати. Рассмотрены физические принципы и процессы, лежащие в основе технологий, примеры и характеристики элементов, направления применений. Основное внимание уделяется технологиям, базирующимся на полимерных материалах. Представлены технологии, используемые в настоящее время в производстве, а также перспективные разработки, ориентированные на получение элементов трехмерной конфигурации и структурированных элементов фотонных устройств.
