Подробное описание документа
Дронов, Н. Н. Технологические процессы микроэлектроники : методические указания / Н. Н. Дронов, В. В. Макарчук, Н. В. Макушина. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. — 20 с. — ISBN 978-5-7038-4358-1.
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.
