Подробное описание документа
Панфилов Ю. В.
Элионные процессы и нанотехнологии. В 17 книгах. Кн. 10 : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнова В. А. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2011. -
Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ, указания по выполнению домашнего задания, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Наноинженерия», а также всех, занимающихся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.