Подробное описание документа
Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии : учебное пособие / Шашурин В. Д., Малышев К. В., Мешков С. А. [и др.]. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2009.
Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специальные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей.