Подробное описание документа
Илюшин В. А.
Эпитаксия микро- и наноструктур : учебное пособие / Илюшин В. А. - Новосибирский государственный технический университет, 2024. -
В учебном пособии рассматриваются физические основы эпитаксии, в частности эффекты, возникающие при несоответствии кристаллических решеток эпитаксиального слоя и подложки; дефектообразование; способы снижения плотности пронизывающих дислокаций; получение нанообъектов разной размерности.
