Подробное описание документа
Дронов Н. Н., Макарчук В. В., Макушина Н. В.
Технологические процессы микроэлектроники : методические указания к выполнению лабораторного практикума / Дронов Н. Н., Макарчук В. В., Макушина Н. В. - Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2016. -
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.