Подробное описание документа
Плотникова Е. Ю., Арсентьев А. В., Винокуров А. А.
Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем : лабораторный практикум / Плотникова Е. Ю., Арсентьев А. В., Винокуров А. А. - Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2020. -
В лабораторном практикуме представлены задачи по методам математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектронного производства в системе автоматизированного проектирования TCAD. Приведены справочные материалы по методам моделирования технологических операций и задания для лабораторных работ. Материал иллюстрируется примерами. Издание предназначено для студентов направлений 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (программа «Интегральные системы и устройства в микро- и наноэлектронике»), изучающих дисциплины «Математическое моделирование технологических процессов и интегральных схем», «Моделирование физических процессов в микро- и наноэлектронике».
