Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2847022 Российская Федерация.
СПОСОБ ПОЛЯРИЗАЦИИ ПОЛИМЕРНЫХ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ПУТЕМ ИХ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА : № 2025101140 : заявл. 21.01.2025 : опубл. 23.09.2025 / Басов Б. А., Моисеев К. М., Осипков А. С. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к технологии получения полимерных сегнетоэлектрических материалов. Поляризацию полимерных сегнетоэлектрических пленок с толщинами в диапазоне от 1 до 100 мкм проводят при пониженном давлении в вакуумной камере при воздействии на поляризуемую пленку отрицательных ионов и электронов кислородной плазмы тлеющего разряда, зажигаемого при давлении около 10 Па, с катодом, на который подают отрицательный потенциал, и анодом с нулевым потенциалом, в контакте с которым находится поляризуемая пленка. При этом поляризуемую пленку непрерывно перемещают через область горения тлеющего разряда, используют двухэлектродную систему без сетчатого электрода, с уменьшенным не менее чем на 1/3 расстоянием между катодом и анодом по сравнению с трехэлектродной системой, и используют изогнутый анод с радиусом изгиба R, определяемым по формуле R=(L2+4h2)/8h, где L - ширина катода, а h варьируют в диапазоне от 5 до 10 мм. Изобретение обеспечивает повышение производительности, равномерности и эффективности процесса поляризации полимерных сегнетоэлектрических пленок толщиной от 1 до 100 мкм за счет возможности равномерной обработки в одном цикле пленок большой площади. 2 ил., 2 табл.JPEG00000002.jpg149151
