Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2844921 Российская Федерация.
Система для определения параметров ангстремного уровня шероховатости и поверхностных неоднородностей контролируемой оптической поверхности : № 2024137283 : заявл. 11.12.2024 : опубл. 11.08.2025 / Денисов Д. Г., Барышников Н. В., Карасик В. Е. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области оптического приборостроения, точнее к оптико-электронным системам определения качества оптических поверхностей, характеризующееся соотношением их высотных параметров шероховатости и поверхностных неоднородностей с длиной волны оптического контроля. Система содержит оптически связанные блок источников лазерного излучения, оптическую систему формирования узконаправленного пучка лазерного излучения подсвета на контролируемую поверхность и фотодетектор на основе фотоэлектронного умножителя (ФЭУ) для ответного излучения, рассеянного на контролируемой поверхности, выход фотодетектора связан со входом блока управления и обработки зарегистрированной индикатрисы рассеяния излучения подсвета. При этом оптическая система установлена в одноосной направляющей с возможностью изменения угла падения узконаправленного пучка излучения подсвета на контрольную точку контролируемой поверхности, а фотодетектор установлен в двухосной направляющей с возможностью регистрации рассеянного излучения в заданном диапазоне углов рассеяния. Также система содержит два трехосных робота-манипулятора с возможностью пространственных перемещений точности позиционирования их торцов концов порядка 0,1 мм, при этом на рабочем торце конца первого из них расположена вышеуказанная оптическая система формирования узконаправленного пучка излучения, на рабочем торце конца второго робота-манипулятора расположен вышеуказанный фотодетектор ответного излучения с возможностью регистрации индикатрисы рассеяния в углах дифракции, приближенных к 90°. При этом устройство выполнено с возможностью работы в диапазонах углов дифракции от 5 градусов до 85 градусов в области высоких пространственных частот свыше 100 мм-1 и предварительной высокоточной калибровки посредством использования эталонной оптической поверхности, имеющей минимальное остаточное светорассеяние в условиях минимального внешнего освещения, для высокоточного измерения шумовой инструментальной погрешности измерений системы. Технический результат заключается в повышении точности и прямого определения методом дифференциального рассеяния СКО ангстремного уровня шероховатости оптической поверхности с учётом возможности предварительной калибровки, рационального конструктивного исполнения устройства для расширенного диапазона габаритных размеров контролируемых оптических деталей, в т.ч. и крупногабаритных, при одновременном сокращении габаритов устройства контроля. 3 з.п. ф-лы, 9 ил. JPEG00000012.jpg118184
