Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2841350 Российская Федерация.
Интегральный электрооптический модулятор : № 2024139868 : заявл. 26.12.2024 : опубл. 06.06.2025 / Родионов И. А., Лотков Е. С., Бабурин А. С. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области фотонных интегральных схем и может быть использовано в устройствах сверхвысокочастотной обработки и передачи информации, а также в вычислительных схемах и системах направления оптического излучения. Технический результат заключается в снижении оптических потерь волноводной схемы модулятора и возможности работать с видимым диапазоном длин волн. Указанный результат достигается за счет то, что в интегральном электрооптическом модуляторе, содержащем подложку 1, на которой последовательно расположены оптическая оболочка 2, удлиненный вдоль координаты Y волновод 3, прозрачный проводящий слой оксида 4, удлиненный вдоль координаты X, перпендикулярной координате Y, и пересекающий преимущественно под углом 90° волновод 3, слой диэлектрика 5, который совпадает по ширине с прозрачным проводящим слоем оксида 4, оставляет свободными его края и расположен над волноводом 3, металлический электрод 6, который совпадает по ширине со слоем диэлектрика 5 и расположен над волноводом 3, причем прозрачный проводящий слой оксида 4, слой диэлектрика 5 и металлический электрод 6 образуют конденсатор 8, при этом на свободном крае прозрачного проводящего слоя оксида 4 расположен металлический контакт 7, в качестве материала для волновода 3 используют нитрид кремния. 5 з.п. ф-лы, 12 ил.JPEG00000001.jpg10196
