Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2826131 Российская Федерация.
СПОСОБ ПОЛЯРИЗАЦИИ ПОЛИМЕРНЫХ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА : № 2024102391 : заявл. 31.01.2024 : опубл. 04.09.2024 / Моисеев К. М., Осипков А. С., Макарова К. Т. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к технологии получения полимерных сегнетоэлектрических материалов и касается способа поляризации полимерных сегнетоэлектрических пленок. В изобретении предлагается способ поляризации полимерных сегнетоэлектрических пленочных материалов с толщинами в диапазоне от 1 до 100 мкм. Поляризацию проводят при пониженном давлении в вакуумной камере при воздействии на поляризуемый образец отрицательных ионов и электронов кислородной плазмы тлеющего разряда в триодной системе. Триодная система состоит из нижнего заземлённого электрода, верхнего отрицательного электрода и управляющей сетки межу ними; при этом поляризуемый образец располагается в вакуумной камере на нижнем заземленном электроде, камера откачивается до давления 1 Па и менее, после чего осуществляется контролируемая подача кислорода до давления около 10 Па. При этом между верхним электродом и управляющей сеткой зажигается плазма тлеющего разряда путем подачи высоковольтных потенциалов на верхний электрод и сетку так, чтобы напряжение сетки по модулю было меньше напряжения верхнего электрода. В результате отрицательные ионы кислорода и электроны, сгенерированные в плазме тлеющего разряда, вытягиваются заземленным электродом и накапливаются на поверхности пленки, образуя виртуальный электрод, что приводит к образованию в образце электрического поля, ориентирующего электрические диполи. Предложенное изобретение позволяет повысить эффективность процесса поляризации за счет низкой вероятности пробоя образца в процессе поляризации, снижения времени обработки, отсутствия потребности в нагреве, возможности обрабатывать большие площади материала, однородности поляризации по площади образца, высокой производительности процесса. 2 ил., 2 табл., 1 пр.
