Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2823018 Российская Федерация.
Способ определения среднеквадратического отклонения шероховатости оптической поверхности : № 2023131460 : заявл. 30.11.2023 : опубл. 17.07.2024 / Денисов Д. Г., Барышников Н. В., Животовский И. В. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области оптического приборостроения, точнее к оптико-электронным системам контроля качества оптических поверхностей, и может быть использовано для исследования параметров шероховатостей высокоточных оптических поверхностей. Способ предусматривает проведение аппроксимации зарегистрированной индикатрисы рассеянного излучения ARS(θд,θn) по точкам, которые назначаются по результатам регистрации самой индикатрисы ARS(θд,θn), по заданному значению минимальной пространственной частоты неоднородностей νmin, а также по вычисленным значениям PSD(ν) и максимальной частоты νmax. Оптическую поверхность подсвечивают узким пучком излучения на длине волны λ под углом падения θn, регистрируют индикатрису ARS(θд,θn), определяют функцию спектральной плотности рассеянного излучения PSD(ν) по выражению. Определяют эффективное значение среднеквадратического отклонения шероховатостей оптической поверхности σеff2 в заданных пределах пространственной частоты неоднородностей от ν1 до ν2 по выражению. При этом дополнительно определяют значение максимальной частоты νmax по выражению. Проводят аппроксимацию функции ARS(θд,θn) в диапазоне углов рассеяния от θдmin до 90° по выражению. Определяют функцию спектральной плотности PSDапр (ν) по выражению и определяют значение среднеквадратического отклонения шероховатостей оптической поверхности в заданных пределах от νmin до νmax по выражению. Технический результат - расширение частотного диапазона измерений эффективного значения среднеквадратического отклонения шероховатостей оптической поверхности в области высоких пространственных частот поверхностных неоднородностей, что в свою очередь позволяет контролировать поверхности с предельно малыми значениями. 8 ил.JPEG00000011.jpg3167
