Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2813743 Российская Федерация.
Способ изготовления сверхпроводниковых кубитов с отжигом фокусированным ионным пучком : № 2023125065 : заявл. 29.09.2023 : опубл. 16.02.2024 / Родионов И. А., Москалева Д. А., Кривко Е. А. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области изготовления кубитов и сверхпроводниковых устройств для квантовых компьютеров, а именно к системам на основе тонкопленочных джозефсоновских переходов, и может быть использовано для точной подстройки резонансной частоты сверхпроводниковых кубитов, содержащих тонкопленочные джозефсоновские переходы, после их изготовления, например, перестраиваемых или фиксированных по частоте кубитов, а также криогенных джозефсоновских параметрических усилителей. Сущность изобретения заключается в том, что в способе изготовления сверхпроводниковых кубитов с отжигом фокусированным ионным пучком, включающем изготовление тонкопленочных алюминий/оксид алюминия/алюминий джозефсоновских переходов 2 на подложке 8, соединенных с двумя обкладками конденсатора 3, обработку сверхпроводниковых кубитов 1 посредством отжига тонкопленочных алюминий/оксид алюминия/алюминий джозефсоновских переходов 2, отжиг сверхпроводниковых кубитов 1 проводят Гауссовым фокусированным ионным пучком 13 посредством локального изменения свойств тонкопленочных алюминий/оксид алюминия/алюминий джозефсоновских переходов 2. Технический результат изобретения заключается в повышении воспроизводимости подстройки резонансной частоты сверхпроводниковых кубитов любого типа, снижении трудоемкости и стоимости технологического маршрута изготовления сверхпроводниковых кубитов и сверхпроводниковых устройств для квантовых компьютеров. 12 з.п. ф-лы, 4 ил.JPEG00000001.jpg100162
