Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2813117 Российская Федерация.
Микрофлюидный тепловой сенсор потока жидкости : № 2023113799 : заявл. 26.05.2023 : опубл. 06.02.2024 / Родионов И. А., Рыжиков И. А., Ечеистов В. В. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области микрофлюидных устройств и методов их изготовления и может быть использовано для контроля потоков жидкостей и газов в микрофлюидной системе. Сущность изобретения заключается в том, что в тепловом микрофлюидном сенсоре потока жидкости, включающем основание, на первой стороне которого вдоль оси расположены первая измерительная область, вторая измерительная область и третья измерительная область, находящаяся между ними, при этом в первой измерительной области сформирован, по меньшей мере, один первый температурный сенсор, во второй измерительной области сформирован, по меньшей мере, один второй температурный сенсор, в третьей измерительной области сформирован, по меньшей мере, один нагреватель, причем на первой стороне основания расположены также, по меньшей мере, один референсный температурный сенсор, а также сформирован первый массив контактных площадок и второй массив контактных площадок, соединенные с помощью проводящих дорожек с первым температурным сенсором, вторым температурным сенсором, референсным температурным сенсором и нагревателем, позволяя подключить первый температурный сенсор, второй температурный сенсор, референсный температурный сенсор и нагреватель индивидуально во внешнюю электрическую цепь, основание имеет одинаковую толщину по всей площади, вторая сторона основания является поверхностью теплообмена между потоком жидкости и первым температурным сенсором, вторым температурным сенсором, референсным температурным сенсором и нагревателем, выполненными из проводящего материала, а со второй стороны к основанию устройства герметично присоединена пластина с каналом, расположенным вдоль оси, имеющая сквозные отверстия, соединенные с каналом. Технический результат - изготовление сенсора потока с интегрированным микрофлюидным каналом в едином производственном цикле, обеспечивающего работу с коррозионно-активными жидкостями, снижение сложности изготовления устройства. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.JPEG00000001.jpg73124
