Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2606363 Российская Федерация.
Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойных покрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия : № 2015120001 : заявл. 27.05.2015 : опубл. 13.12.2016 / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Кузнецов А. С. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к способу магнетронного напыления многослойного равнотолщинного покрытия и установке для его осуществления и может быть использовано для получения оптических покрытий на поверхности оптических подложек. Последовательное нанесение на плоскую поверхность детали двух слоев с комплементарными профилями и получение равнотолщинного покрытия осуществляют в вакуумной камере с карусельным планетарным механизмом посредством магнетронной системы. Система содержит два магнетрона с мишенями, симметрично и наклонно расположенными к фронтальной плоскости вакуумной камеры и обращенными своими мишенями в сторону карусельного планетарного механизма, и единичный магнетрон с мишенью. Один слой покрытия напыляют симметричным выпуклым посредством единичного магнетрона, осуществляя реверсивное синхронное вращение внутреннего зубчатого колеса и водила упомянутого планетарного механизма в одну сторону и реверсивное вращение сателлита синхронно в противоположную сторону в одних расчетных диапазонах углов поворота водила и внутреннего зубчатого колеса. Сателлит вращают с угловой скоростью по абсолютной величине меньшей, чем угловая скорость вращения водила. Второй слой покрытия напыляют симметричным вогнутым посредством двух магнетронов дуальной системы, осуществляя реверсивное вращение внутреннего зубчатого колеса и водила синхронно в одну сторону и реверсивное вращение сателлита синхронно в ту же сторону в расчетных диапазонах углов поворота, отличных от углов поворота водила и внутреннего зубчатого колеса при выполнении первого слоя покрытия. Сателлит вращают с угловой скоростью по абсолютной величине большей, чем угловая скорость вращения водила. Получают покрытие с высокой степенью точности, при этом отклонение его толщины от теоретически рассчитанной составляет 0,1 нм. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 9 ил., 1 пр.TIFF00000004.tif193229
