Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2522323 Российская Федерация.
Микроэлектромеханический взрыватель : № 2012158185 : заявл. 29.12.2012 : опубл. 16.05.2014 / Борзов А. Б., Лихоеденко К. П., Цыганков В. Ю. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к микроэлектромеханическим взрывателям. Микроэлектромеханическая структура выполнена из расположенных последовательно и соосно кристалла кремния, в котором сформирована кантилевер-игла, кристалла кремния с допированными водородом и окислителем с областью пористого слоя толщиной до 50 мкм, теплопроводящего элемента - кристалла из монокристаллического кремния и кристалла кремния с областью пористого слоя толщиной не менее 60 мкм, установленных на стеклянной подложке, имеющей отверстие в центральной части. Кантилевер-игла обращена к пористому слою кристалла кремния с областью пористого слоя толщиной до 50 мкм. Коэффициент теплопроводности теплопроводящего элемента больше коэффициента теплопроводности кристалла кремния с областью пористого слоя толщиной не менее 60 мкм. Структура закреплена на рамке, встроенной в корпус, внутри которого создан вакуум. Техническая задача изобретения заключается в увеличении эффективности взрывателя и обеспечении регулируемого взрыва. 1 ил.
