Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2465749 Российская Федерация.
СПОСОБ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ФОКУСИРОВКИ ИОННОГО ПУЧКА В УСКОРИТЕЛЕ ПЛАЗМЫ С АЗИМУТАЛЬНЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ : № 2010112661 : заявл. 02.04.2010 : опубл. 27.10.2012 / Духопельников Д. В., Марахтанов М. К. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к области обработки поверхности твердых материалов с помощью ионных пучков в вакууме, в частности ионно-лучевой полировки или ионного травления оптического стекла, ситалов и кремния. Технический результат - повышение плотности тока ионного источника, например стационарного плазменного двигателя или двигателя с анодным слоем, что обеспечивает повышение производительности или скорости обработки поверхности подложки сфокусированным ионным пучком. В устройстве электромагнитной фокусировки ионного пучка в ускорителе плазмы с азимутальным дрейфом электронов, содержащем кольцевой ускоряющий канал, объем которого пронизан радиальным магнитным полем, стенки канала выполнены в форме двух коаксиальных усеченных конусов, образующие которых имеют заданный угол схождения β, а ускоритель оборудован внешней системой магнитной фокусировки пучка, работающей на постоянных или на электромагнитах. Ионный пучок формируют с непрерывным однородным заполнением ионами его внутреннего объема путем приведения угла а азимутального отклонения ионов к нулю с помощью внешнего фокусирующего магнитного поля. 4 ил.TIFF00000013.tif165115
