Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2465681 Российская Федерация.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ ЖИДКИХ И ГАЗООБРАЗНЫХ СРЕД : № 2009105635 : заявл. 19.02.2009 : опубл. 27.10.2012 / Березин С. В., Хорев М. Д. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к технологии изготовления упругих элементов микроэлектромеханических измерительных систем. Сущность изобретения: в способе изготовления чувствительного элемента датчика давления жидких и газообразных сред, заключающемся в нанесении на стеклянную подложку фиксированного электрода, выполнении подвижного электрода и их соединении, наносят метки совмещения на стеклянную подложку и подвижный электрод, выполненный в виде кремниевой пластины ориентации (100), на которой формируют рельефы различной глубины двухэтапным анизотропным травлением кремния через маску из нитрида кремния одновременно с обеих сторон пластины, соединение элементов осуществляют методом анодного сращивания. Анизотропное травление можно проводить водным раствором KОН с концентрацией 33% при температуре 92±2°С. 1 з.п. ф-лы.
