Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2465561 Российская Федерация.
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ : № 2009105634 : заявл. 19.02.2009 : опубл. 27.10.2012 / Ханин А. А., Крылов Д. М. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к емкостным датчикам давления газов и жидкостей, в частности микроэлектромеханическим, которые используются для контроля давления в устройствах промышленной автоматики, в гидросистемах. Техническим результатом является повышение разрешающей способности датчика давления. Микроэлектромеханический датчик давления, выполнен в виде жестко соединенных стеклянного основания и кремниевого чувствительного элемента. Стеклянное основание металлизировано и является неподвижным электродом. Кремниевый чувствительный элемент представляет собой вытравленную в кремниевой пластине конфигурацию - основание, в котором вытравлены полость (рабочий объем) тонкой мембраны, жесткость которой определена диапазоном измеряемых давлений, и канал для подвода проводника. Жесткий элемент в центре мембраны является обкладкой конденсатора. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.TIFF00000001.tif73151
