Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2395788 Российская Федерация.
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКЕ : № 2007143852 : заявл. 28.11.2007 : опубл. 27.07.2010 / Белов М. Л., Городничев В. А., Козинцев В. И. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для оперативного контроля толщины тонких пленок нефтепродуктов в очистных сооружениях, на внутренних водоемах, акваториях портов и т.п. Технический результат направлен на повышение точности измерений. Неконтактный способ измерения толщины пленки на поверхности материала подложки заключается в облучении поверхности оптическим излучением на разных длинах волн зондирования, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определения толщины пленки по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала на длинах волн зондирования, при этом используют плавно или дискретно (от шести длин волн зондирования) перестраиваемый по длине волн λ в узком диапазоне лазерный источник излучения, по данным измерений отраженного сигнала дополнительно определяют первую R'ref(λ, d) и вторую R”ref(λ, d) производные коэффициента Rref(λ, d) отражения трехслойной системы «воздух-пленка-подложка» и вычисляют толщину пленки d по формуле: TIFF00000016.tif1531 где n2 - показатель преломления материала пленки; r12, r23 - коэффициенты отражения на границе сред «воздух-пленка» и «пленка-подложка» соответственно. 2 ил.TIFF00000017.tif91147
