Подробное описание документа
Патент на полезную модель № 188489 Российская Федерация.
Оптическая схема прецизионного интерференционного угломера : № 2018147199 : заявл. 28.12.2018 : опубл. 16.04.2019 / Гончаров А. И., Ковалев М. С., Одиноков С. Б. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Полезная модель относится к измерительной технике и может применяться для точного бесконтактного контроля изменений угловых положений зеркал в лабораторных и производственных условиях оптического приборостроения. Оптическая схема прецизионного интерференционного угломера, состоящая из осветителя в составе когерентного источника света, микродиафрагмы и объектива, формирующего сходящийся пучок световых лучей; диэлектрического зеркала в качестве светоделителя; приемника излучения для регистрации интерферограмм; пространственного модулятора света (ПМС), на который выведены компьютерно-синтезированные голограммы (КСГ) с возможностью не только разделять волновой фронт, но и корригировать аберрации источника волнового фронта. Оптическая ось осветителя перпендикулярна оптической оси, на которой последовательно расположены указанные приемник излучения, диэлектрическое зеркало (светоделитель), ПМС и неподвижный центр угловых перемещений на отражающей поверхности исследуемого оптического элемента с возможностью отражения падающих световых пучков угломера. Светоделитель расположен на стыке пересечения указанных оптических осей под углом 45 градусов между ними. Пространственная комбинация КСГ, выводимых на ПМС, выполнена в виде периодически чередующихся колец, период чередования которых меньше чем JPEG00000008.jpg823 где λ - длина волны когерентного источника света, L - расстояние между микродиафрагмой и ПМС, D - диаметр микродиафрагмы; ПМС и отражающая поверхность исследуемого оптического элемента наклонены к оптической оси на угол α больший чем JPEG00000009.jpg819 Технический результат - измерение величин угловых перемещений контролируемого оптического объекта (зеркала) предлагаемой оптической схемой с малой погрешностью порядка 10 мкрад (±0,3 угл. сек.). 1 ил.TIFF00000010.tif97175
