Подробное описание документа
Патент на полезную модель № 164392 Российская Федерация.
Носитель для плазмохимического травления подложек из диэлектрических материалов : № 2016112585 : заявл. 04.04.2016 : опубл. 09.08.2016 / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалёв М. С. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Полезная модель относится к узлам устройств плазмохимического (ионно-плазменного, сухого) травления (осуществляемого в камерах при пониженном давлении) подложек из диэлектрических материалов для микроэлектроники, микрооптики, прецизионного приборостроения. Технический результат: совокупность технических улучшений носителя: - возможность универсальной переналадки одного и того же экрана на обработку различных по размеру и конфигурации подложек из диэлектрических материалов; - исключение пространственных деформаций экрана под воздействием радиочастотного излучения антенны установки плазмохимического травления; - повышение надежности электроизоляции между основанием и экраном; - отсутствие крепежных элементов между основанием и экраном; - уменьшение габаритов и массы носителя. Носитель для плазмохимического травления подложек из диэлектрических материалов содержит плоское металлическое основание, над основанием плоский металлический экран с отверстием, соответствующим по конфигурации и размеру обрабатываемой подложке, устанавливаемой на основании, с обеспечением электрической изолированности основания и экрана друг от друга за счет диэлектрических прокладочных элементов между ними. При этом экран выполнен металлизированным в виде тонкого металлического покрытия, нанесенного на тонкую диэлектрическую пластину, выполняющую функцию прокладочного элемента. Экран лежит на основании под действием собственного веса и находятся с ним в оптическом контакте, закрывая полностью площадь контакта основания с плазмой. Экран нарезан с обеспечением безотходного раскроя на элементы мозаично-замковой структуры типа «пазл» с возможностью посредством выборочного удаления отдельных элементов мозаично-замковой структуры формирования в экране вышеуказанного отверстия. Форма элементов мозаично-замковой структуры с взаимно-обратными выступами и впадинами замков такова, что элементы, будучи собраны все вместе, покрывают всю плоскость металлического основания, обеспечивая невозможность разделения металлизированного экрана на части при горизонтальном механическом воздействии на элементы. Между обрабатываемой подложкой и металлическим основанием помещена дополнительная металлическая прокладка, заходящая частично под экран и обрамляющая обрабатываемую площадь подложки в вышеуказанном отверстии экрана. 2 ил.
