Подробное описание документа
Патент на полезную модель № 140218 Российская Федерация.
МЕМБРАНА ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ : № 2013139244 : заявл. 23.08.2013 : опубл. 03.04.2014 / Базанчук А. И., Крылов Д. М. ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Полезная модель относится к технике полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению тензодатчиков механических величин (давления) с использованием тензочувствительных полупроводниковых резисторов. Задачей и техническим результатом полезной модели является создание мембраны датчика давления, обладающей повышенным временем работы в условиях возможной перегрузки по измеряемому давлению, перегрева за счет достижения минимального напряжения в мембране Технический результат достигается тем, что мембрана датчика давления, выполнена в виде пластины из четырех чередующихся слоев: первый слой - термически окисленный кремний, второй слой, непосредственно осажденный на окисел - нитрид кремния и пиролитически нанесенные слой окисла кремния и слой нитрида кремния, с прямоугольными отверстиями, обеспечивающими выравнивание давления под мембраной. Наличие в мембране четырех слоев различных материалов обеспечивает достижение технического результата - повышение времени работы датчика давления Испытания мембраны по полезной модели в составе датчика давления газов или жидкой среды показали, что время стабильной работы датчика выше времени работы известной мембраны. 1. н.п. ф-лы, 1 илл.
