Подробное описание документа

Статья

Шахаев Б. М., Андреев В. В.
Контроль дефектности диэлектрических пленок ИМС с использованием термочувствительного порошка / Шахаев Б. М., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции, Калуга, 19-21 ноября 2025 г. : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 57-60.

Аннотация

Разработан метод контроля дефектности диэлектрических пленок микросхем, вышедших из строя в процессе эксплуатации, основанный на контроле поверхности кристалла путем нанесения на нее термочувствительного порошка. Проведена апробация метода при анализе дефектности диэлектрических пленок на кристаллах КМДП-ИМС. Показано, что предложенный метод позволяет локализировать место дефектов на поверхности кристалла ИМС
Ключевые слова: анализ диэлектрических пленок, пробой ИМС, термочувствительный порошок

УДК
621.317 Электроизмерительная техника. Радиоизмерительная техника

Авторы МГТУ

Андреев Владимир Викторович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 57-60

Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции, Калуга, 19-21 ноября 2025 г. : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2025. - ISBN 978-5-7038-6702-0.
Т. 1. - 2025. - 495 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6704-4.

подробнее