Подробное описание документа
Статья в журнале
Высокочастотный источник газового разряда / Полуэктов Н. П., Усатов И. И., Андросюк А. А., Сербинов А. Л., Мазаева Т. А., Посевин А. Н. - DOI 10.18698/2542-1468-2020-1-111-116 // Лесной вестник. - 2020. - Т. 24, № 1. -
Скачать документ
Разработан источник высокочастотного (ВЧ) разряда, который можно использовать для очистки металлических и диэлектрических подложек, а также при осаждении тонких пленок. Приведено описание принципиальной схемы источника высокочастотного разряда, схемы предусилителя и усилителя данной системы. Проведены испытания данной системы, которые показали ее устойчивую работу на плазменной установке.
621.37 Радиотехника. Техника электромагнитных колебаний
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 111-116
Журнал
Лесной вестник. - ISSN 2542-1468 .
Т. 24, № 1. - 2020.
Т. 24, № 1. - 2020.