Подробное описание документа
Лапшин В. В.
Экспериментальные исследования по сверхточной лезвийной обработке кремния / Лапшин В. В., Грубый С. В. - DOI 10.18698/0536-1044-2017-4-76-85 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2017. - № 4. -
Скачать документ
В современной оптической промышленности широкое распространение находят оптические детали, изготовленные из монокристаллического кремния. К ним предъявляются высокие требования по точности и качеству обработки. Кремний относится к труднообрабатываемым хрупким материалам, однако при определенных условиях его можно обработать в режиме пластичного резания. В качестве режущего инструмента используют резцы с режущей частью из монокристаллического алмаза. Проведены литературный обзор по способам достижения режимов пластичной обработки кремния, а также анализ данных по износостойкости алмазных резцов. По результатам аналитического обзора поставлена задача экспериментального определения режимов лезвийной обработки монокристаллического кремния, а также исследования износа и стойкости алмазных резцов. Проведенные эксперименты показали возможность пластичной обработки кремния. Получены данные о стойкости алмазных лезвийных инструментов с заданной геометрией режущей части при различных условиях обработки.
621.941.1 Точение. Обточка. Токарная обработка. Методы точения
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 4. - 2017.
