Подробное описание документа

   Физические аспекты методов контроля и управления свойствами поверхности твердого тела : сб. науч. тр. / Ленинградский политехн. ин-т им. М. И. Калинина. - Л., 1989. - 101 с. : ил. - (Труды/Ленинградский политехн. ин-т им. М. И. Калинина ; № 429). - Библиогр. в конце ст. - К 90-летию института.

Рассматриваются вопросы совершенствования новейших методов элементного анализа состава и структуры поверхности твёрдого тела (в частности, зоны пространственного заряда полупроводников), возможности их применения для решения задач микроэлектроники, прежде всего вторично-электронной спектроскопии в различных её аспектах в комплексе с другими, методиками (дифракция медленных электронов, автоэлектронная спектроскопия и т. п.). Приводятся новые результаты исследований радиационных эффектов при ионном облучении твёрдого тела. В связи с поиском эффективных электронно-оптических систем для электронной спектроскопии и технологии микроэлектроники рассматриваются новые классы перспективных электростатических полевых структур (двумерных, трансаксиальных и др.). Обсуждаются отдельные аспекты создания элементной базы оптоэлектроники, оптические методы диагностики активных сред ионных лазеров, влияния структуры поверхности на асимметрию рассеяния поляризованных электронов.
Сборник содержит результаты исследований кафедры физической электроники ЛПИ имени М. И. Калинина, выполненных в соответствии с координационными планами НИР АН СССР по фундаментальным и прикладным проблемам, разрабатываемым МНТК Научные приборы.