Подробное описание документа

   Тонкие плёнки антимонида индия. Получение, свойства, применение : монография / Касьян В. А., Кетруш П. И., Никольский Ю. А., Пасечник Ф. И. ; ред. Сырбу Н. Н. ; Кишинёвский гос. ун-т им. В. И. Ленина. - Кишинёв : Штиинца, 1989. - 161 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 146-160. - ISBN 5-376-00071-0.

В монографии систематизированы результаты исследований советских и зарубежных учёных в области технологии и физики тонких плёнок одного из широко известных полупроводниковых соединений группы А³В⁵ - антимонида индия. Подробно рассмотрены методы выращивания тонких плёнок этого соединения, тройных сплавов на его основе, а также гомо- и гетероэпитаксиальных структур. Детально обсуждены явления переноса в поликристаллических и перекристаллизованных плёнках, электрические и фотоэлектрические свойства эпитаксиальных структур. Освещены вопросы практического применения.
Книга предназначена для научных работников, инженеров, аспирантов и студентов, работающих или специализирующихся в области физики полупроводников, плёночного полупроводникового материаловедения и микроэлектроники.