Подробное описание документа

   Статья

   Формирование функциональных тонкопленочных покрытий на установке ВУП-11М для микрокоммутационных модулей / Васильев Д. Д., Моисеев К. М., Макарова Ю. С., Габидуллин А. Р. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 148-152.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Авторы МГТУ

• Васильев Денис Дмитриевич
• Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 148-152

   Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-600-00714-7.

подробнее