Подробное описание документа
Чижов А. С.
Двусторонняя абразивная доводка подложек с учетом износа притиров / Чижов А. С. - DOI 10.18698/0536-1044-2011-11-72-76 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2011. - № 11. -
Скачать документ
Рассмотрены вопросы, связанные с точностью обработки и качеством поверхности подложек из монокристаллов для интегральных микросхем при двусторонней абразивной обработке. Учтены износ инструмента и упругое контактирование поверхностей. Приведены расчетные формулы для ограничения эксцентриситета приложения нагрузки на детали, изменения давления в зоне обработки и распределения износа на поверхности инструмента. Обоснованы два варианта износа притиров с разной длительностью между правками рабочих поверхностей.
621.923 Шлифование, полирование и подобные процессы. Методы и оборудование
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 11. - 2011.
