Подробное описание документа

   Статья

Тарнавский Г. А., Анищик В. С., Тарнавский А. Г.
   Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных гетероструктур легирующих примесей фосфора / Тарнавский Г. А., Анищик В. С., Тарнавский А. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 3. - С. 57-65.

УДК

539.2 Свойства и структура молекулярных систем

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 57-65

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 3. - 2008.

подробнее