Подробное описание документа
Статья
Худобин Л. В.
Ультразвуковая активация операции разрезки заготовок из полупроводниковых материалов на пластины алмазными отрезными кругами / Худобин Л. В., Крупенников О. Г., Дормушев А. Е. // Вестник машиностроения. - 2006. - № 10. -
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 47-49
Журнал
Вестник машиностроения.
№ 10. - 2006.
№ 10. - 2006.
