Подробное описание документа
Нашельский А. Я.
Производство полупроводниковых материалов / Нашельский А. Я. - 1989. - 269 с.
Изложены краткие сведения об основных материалах современной электроники, строении и росте монокристаллов. Описаны базовые положения физики полупроводников, свойства и марки монокристаллов важнейших полупроводников. Приведены данные об основных и вспомогательных материалах полупроводникового производства, процессах и технологии поли- и монокристаллических полупроводников. Рассмотрены также вопросы охраны труда и техники безопасности в производстве монокристаллов полупроводников.
Второе издание (первое вышло в свет в 1982 г.) дополнено сведениями о переработке отходов производства полупроводниковых материалов, о методах контроля электрофизических параметров и структуры монокристаллов полупроводников.
Учебное пособие предназначено для подготовки рабочих и мастеров на производстве и может быть полезно учащимся СПТУ.
621.315.592 Полупроводники2 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
